国力电子突破真空电容“卡脖子”，跑出半导体设备国产替代加速度

“卡脖子”清单越拉越长，半导体设备领域国产化率提升箭在弦上。以应用于刻蚀、薄膜沉积等半导体设备射频电源中的核心元件——真空电容器为例，国内企业与外国品牌相比，仍在竞争优势方面有所欠缺。

真空电容器所属的电子真空器件，是电子产品及电子信息产业的重要组成部分，其质量和技术水平直接决定电子信息产品的质量与性能。中高端电子真空器件更是长期制约我国高端装备制造、信息通讯、大科学装置、医疗等关键领域发展突破的瓶颈之一。

作为国内领先的电子真空器件供应商，国力电子（688103.SH）依托自身深厚的电子真空技术底蕴，自主研发并掌握了陶瓷金属化、陶瓷真空密封、核心设计及制造等电子真空器件核心技术。从下游应用来看，国力电子构建起协同创新网络，在新能源汽车及充电设施、半导体设备制造、光伏风能及储能、航空航天军工、大科学工程等多个领域齐头并进，为我国的高端制造业自主可控提供关键支撑。

推动半导体设备核心元件国产化，在国际竞争中崭露头角

在国家“科技自立自强”的指引下，基础元器件领域的自主突破成为推动产业升级与前沿科技发展的关键抓手。这一趋势在半导体设备制造领域尤为明显——我国的半导体设备制造市场起步较晚，长期依赖进口，国产化程度不高，国内半导体设备电子器件供应商数量相应较少。

国力电子是国内半导体设备电子器件发展较早的供应商之一，主要生产应用于半导体设备中射频电源的真空电容器及真空继电器，射频电源是半导体设备配套电源，广泛应用于等离子体刻蚀（PlasmaEtch）、增强气相沉积（PECVD）、气相清洗等设备中。

值得一提的是，国力电子真空电容器在性能、参数等方面已达到国际主流水平，尤其是在刻蚀、薄膜沉积等关键设备环节实现技术突破。

今年上半年，国力电子在半导体领域收入主要由真空电容器贡献，该领域竞争对手均为国外品牌，主要参与者包括Comet、明电舍等，国力电子产品凭借耐压高、体积小、损耗低、性能稳定可靠等特点，性能参数与国外领先品牌旗鼓相当，且生产成本较低，在国际竞争中逐渐占据一席之地。

东兴证券研报指出，国力电子作为真空电器件的生产商，将受益于半导体设备市场的快速发展。真空电容器作为等离子沉积、刻蚀、离子注入设备的重要零件，直接影响芯片良率，具有不可替代性，国内集成电路产业发展有望驱动真空器件行业增长。预计2025年中国集成电路行业的销售规模将达到1.35万亿元，中国大陆集成电路封测产业的销售收入将达到3303.3亿元，真空电器件作为半导体设备核心部件，市场前景广阔。

加大研发投入，夯实技术壁垒

在半导体设备领域建立起与国际品牌比肩的优势，离不开国力电子在技术与研发上的深厚积淀。历经二十年的发展与沉淀，国力电子成功构建了完整的电子真空器件核心技术平台，积累了丰富的工艺研发和产品设计制造技术体系。公司自主掌握了研发和生产的全部环节，能够全面满足多品种电子真空器件产品的研发设计制造需求，实现研发成果向产品产业化的高效转化。

基于前期优势，国力电子持续优化并提升核心工艺技术水平，积极推动产品设计与制造技术的创新。公司掌握了自主可控的陶瓷真空密封、阴极制造、电磁控制等关键制造技术工艺，并配备了完善的测试系统平台，从而能够批量生产出小型化、长寿命、高可靠、高性能、高稳定性的高端电子真空器件产品，以满足国防科技、半导体等高端装备领域对基础核心电子器件国产化的迫切需求。

国力电子2024年年报显示，公司当年成功研发了应用于射频通信系统及高电压隔离系统的高耐压射频快速继电器，且已进入小批量生产阶段。此外，公司还完成了高性能精细化真空电容器及配套马达驱动、控制系统的研发，产品获国内半导体高端客户认可，实现批量交付。

2025年上半年，国家持续加大对核心电子零部件行业的政策支持力度，围绕关键技术攻关与产业链协同强化顶层部署，并通过设立专项基金、优化税收政策及加强知识产权保护等举措，为企业研发创新与竞争力提升提供了有力保障。

在此背景下，国力电子持续践行“科技兴企、创新驱动”的理念，持续加大研发投入，今年上半年合计投入4485.98万元，同比上升18.13%。公司还注重核心产品开发，积极探索和开发电真空器件行业中具有发展前景的新产品，保障公司核心技术先进性，抢占行业技术制高点，全面提升自主创新能力。

据国力电子2025年半年报披露，在电子元器件及高端装备领域，公司重点推进了新一代高频高功率器件、智能化模块的研发迭代，多项关键技术取得阶段性突破，部分产品已完成性能测试并进入客户验证阶段。同时，公司通过优化材料工艺、提升产品可靠性，进一步巩固了在细分市场的技术领先优势。其中，在半导体制造领域，公司正在推进高耐压射频快速继电器、高稳定性真空电容器的研发。

今年上半年，国力电子共申请专利38件，授权专利18件，依靠核心技术形成了电真空器件制造领域多项研发成果，推广应用方面成效明显，使得公司在电真空器件领域形成了更为完备的产品体系，巩固了行业地位，为公司后续发展提供强有力的支撑。

华西证券指出，我国半导体设备市场已连续多年位列全球首位，但国产化率较低，自主可控势在必行。作为国内高度稀缺的真空电容产品生产商，国力电子的产品性能和国外对手基本相当，并已在下游客户实现部分外资替代，随着国产替代趋势加速及公司产品良率不断提高，2025年公司半导体业务收入会明显增加。