光刻胶国产化突破，半导体ETF博时涨1.17%

截至3月20日10点35分，上证指数跌0.19%，深证成指涨1.07%，创业板指涨2.77%。光伏设备、F5G概念、电池等板块涨幅居前。

ETF方面，半导体ETF博时（159582）涨1.17%，成分股拓荆科技（688072.SH）涨超5%，上海新阳（300236.SZ）、华峰测控（688200.SH）、中科飞测（688361.SH）、长川科技（300604.SZ）、华海清科（688120.SH）、神工股份（688233.SH）、京仪装备（688652.SH）、北方华创（002371.SZ）、芯源微（688037.SH）等上涨。

消息面上，鼎龙股份控股子公司投资建设的年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目已于近期顺利投产。该项目为国内首条覆盖“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”全流程的高端晶圆光刻胶量产线，实现了核心树脂、特殊单体、光致产酸剂等关键原材料的自主供应，解决了高端光刻胶供应链安全瓶颈。

国盛证券表示，随着AI算力持续扩张，TIM有望成为液冷产业链中兼具高频耗材属性与技术升级弹性的关键环节。建议重点关注具备金属TIM技术储备的头部企业如霍尼韦尔（材料龙头）、3M（可靠性TIM）、国内公司如科创新源（高分子材料平台）等。

银河证券指出，政策加持下半导体设备战略定位提升，同时海外云厂商资本开支持续攀升，谷歌、微软等头部厂商2026年资本开支预期超6000亿美元，为半导体设备需求提供强支撑，推动设备厂商从库存周期逻辑转向产能前置逻辑。