公司的抛光液光刻胶产品能否实现对日本产品的有效替代?鼎龙股份回应
后续公司将持续加大两类产品研发投入,迭代优化产品性能、拓展海内外优质客户,助力国内半导体材料的发展。
有投资者向鼎龙股份(300054.SZ)提问,请问公司的抛光液光刻胶产品能实现对日本产品的有效替代吗?
6月30日,公司回答表示,公司控股子公司鼎泽新材料深耕半导体 CMP 抛光液研发与产业化,铜及铜阻挡层抛光液、氧化铝体系抛光液、碳化硅衬底抛光液等核心产品均已实现自主配方、自主研磨粒子原料配套,对标海外主流抛光液产品开展全维度性能迭代验证。铜阻挡层抛光液已斩获多家头部晶圆厂批量订单,碳化硅衬底抛光液顺利实现批量供货;相关抛光液产品在头部晶圆制造产线完成长期量产验证,抛光速率、表面缺陷、平坦度等关键指标达到客户工艺标准,成功进入量产供应链,对海外同类型耗材形成有效供给替代。公司依托全链条自主研发优势,持续扩大头部存储、逻辑晶圆厂客户覆盖,公司抛光液产品还获得头部晶圆厂优秀供应商奖项,充分验证公司产品综合竞争力。除此之外,公司依托潜江年产300吨 KrF/ArF 光刻胶全流程自主量产线,对标海外同类产品完成技术攻关与工艺适配,国产化落地成效持续显现,公司已实现光刻胶核心树脂、光致产酸剂等关键原材料自主合成,打通“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”完整产线,产品配方、工艺体系完全自主,性能对标海外主流光刻胶型号。公司目前累计布局40余款高端晶圆光刻胶,近30款产品同步开展客户验证,多款新品预计年内完成订单转化,覆盖更多细分制程需求;同步配套开发 BARC、SOC 等光刻辅材,形成光刻胶一体化供应能力,持续提升国产材料整体配套竞争力。后续公司将持续加大两类产品研发投入,迭代优化产品性能、拓展海内外优质客户,助力国内半导体材料的发展。

