光刻产业，杭州巧入局

7月1日，一年一度的“势银光刻产业大会”，是国内光刻产业的盛会之一，往年都在上海、苏州等地举办，今年6月首次移师杭州，落地临空经济示范区举行。

大会上，杭州市透露将以杭州临空经济示范区为核心载体，建设光刻新材料专属产业园区。在当下的中国产业界，具身智能、低空经济等新赛道正被无数的会议、论坛和资本竞相追逐。然而，光刻产业的会议会展却相对冷门。

在全球半导体版图中，光刻技术是当之无愧的“珠穆朗玛峰”。它不仅是芯片制造中最复杂、最精密的环节，更是国产化率最低的痛点。这些年，得益于“卡脖子”攻关的深入，我国在刻蚀机领域、薄膜沉积领域都取得了一定进展。随着光刻产业迎来国产替代关键窗口期，相关的会议会展也备受关注。

产业研究与数据公司势银（TrendBank）董事长唐蔚波介绍，“势银光刻产业大会”80%的嘉宾来自企业，在国内光刻产业会议中具有浓厚的产业色彩。

翻看参会名单，分量不言而喻。既有彭孝军院士这样的学界大咖，也有复旦、上交、中科院宁波材料所等科研院所，还有合肥芯碁微装（688630.SH）、彤程新材（603650.SH）、上海新阳（300236.SZ）、鼎龙股份（300054.SZ）、苏州瑞红、艾森等行业龙头，涵盖产业链上下游近400家企业。

大会现场，复旦大学微电子学院研究员伍强也揭示了国产光刻胶面临的真实困境。一款成熟的光刻胶，必须在分辨率、粗糙度、灵敏度、光学邻近效应、焦深等多个维度上实现完美匹配。尽管国产的ArF、KrF光刻胶均已有出货，但市占率仍然较小，国内企业仍需要较长时间进一步扩大市场份额。

“光刻材料必须通过不断的‘上机验证’来迭代。”唐蔚波也认为，以前的问题是，半导体企业更愿意用国外成熟的材料体系和设备，以快速扩大经济效益，国内材料企业较难拿到大量的验证机会。但现在不一样了，大家愿意去导入、去测试，这会带来整个国产供应链的快速迭代。

杭州在新材料产业上具备了较好基础。目前，杭州将新材料列为九大千亿级支柱产业重点培育，已集聚290家新材料产业集群规上企业，还依托浙江大学等高校资源布局了硅材料、光学仪器等6大国家重点实验室，打通了“基础研究—中试放大—批量产业化”全链条。

杭州还拥有一定比较优势。全国领先的AI大模型、智能终端及先进封装应用场景，这在一定程度上可以完善产业链条，推动杭州以光刻胶等关键配套材料为支点加速布局。

据悉，杭州计划以杭州临空经济示范区为核心战略载体，规划建设光刻新材料专属产业园区，量身定制适配光刻产业洁净生产、精密研发需求的标准化产业载体。

在杭州临空区域规划建设的光刻新材料专属产业园区，不仅是物理空间的载体，更是产业链协同的“催化剂”，将同步配套公共中试车间、第三方专业检测平台、共享精密仪器设备等公共基础设施，补齐行业中小企业研发成本高、设备投入大、检测资源不足的短板，为全产业链企业提供低成本、一站式、全链条研发生产空间。

目前，杭州计划联动产业基金、“润苗”基金、创投机构加大光刻赛道投资布局。如杭州临空既有百亿元国家级服贸产业基金，也有20+8亿元政府引导产业基金，同时还有若干支产业支持子基金。尤其是杭州市区两级在临空组建了“润苗基金”联盟，可放大单只基金投资规模，从原来500万元，最大可投资到2000万元，形成了多层次一体的产业基金体系。

光刻产业大会期间，杭州已与42家意向企业进行了深入沟通洽谈，企业还实地踏勘了园区、厂房，为后续项目落地储备基础。