拓荆科技：原子层沉积技术根据工艺的应用场景和整合需求选择特定的反应源

财闻 2026-07-16 19:00:07

原子层沉积技术主要根据工艺的应用场景和整合需求选择特定的反应源，不同ALD工艺所采用的反应源不同。

有投资者向拓荆科技（688072.SH）提问，公司作为ALD设备领军企业，想请问臭氧源比水蒸气源，在原子层沉积ALD设备上有何优势？

公司回答表示，原子层沉积技术主要根据工艺的应用场景和整合需求选择特定的反应源，不同ALD工艺所采用的反应源不同。

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