沃尔德:已与多家PCB厂商进行持续优化及验证工作,已取得很多突破性进展
财闻
2026-08-12 16:05:38
面向半导体晶圆应用的复合衬底解决方案。
在PCB钻针领域,全球PCB钻针市场主要系硬质合金钻针,公司较早开发金刚石微钻(俗称钻针)拓展此领域,已与多家PCB厂商进行持续优化及验证工作,已经取得很多突破性进展。
面向半导体晶圆应用的复合衬底解决方案,通过CVD技术在硅、碳化硅或硅基PCD晶圆表面沉积金刚石层,兼具硅、碳化硅或硅基PCD的半导体兼容性与金刚石材料的高热导性。
公司依靠自主研发的大腔室热丝CVD设备,成功研发出高平整度的硅、碳化硅或硅基PCD基金刚石衬底,最 大尺寸320mm*320mm,兼容直径50mm-300mm的主流晶圆尺寸;金刚石膜厚可调,总厚度偏差(TTV)小于20μm。目前已向中国台湾等地的客户交付部分产品,并积极配合客户要求进行产品的开发工作,整体进展在快速推进中。
公司依靠自主研发及合作开发的MPCVD设备,已能成功制备直径100mm以内的硅基、碳化硅基和硅基PCD基的复合CVD金刚石衬底,并在精密加工后向部分客户交付验证,已经取得较好的验证结果。
通过微波、热丝、直流等CVD技术制备单晶/多晶金刚石热沉片,凭借高热导率与电绝缘特性,可高效降低器件热点温度并导出热量。

