广钢气体：已在半导体项目实现超临界二氧化碳输送系统的商业化落地

财闻 2026-09-07 16:03:41

9月7日，广钢气体（688548.SH）发布投资者关系活动记录表。其中指出，超临界二氧化碳主要应用于高端芯片制造清洗工艺，可以替代部分传统湿电子化学品，实现更好的清洗效果，提升芯片产品良率，公司已在半导体项目实现了超临界二氧化碳输送系统的商业化落地。超临界二氧化碳在国际半导体市场的应用已经较为普遍，目前国内应用尚处于前期阶段，只有少数头部半导体客户工厂采用，预计未来国内该领域也有较大的发展空间。（超临界二氧化碳收入占比较小，请勿放大单一产品对公司业绩的影响）

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