国仪公司:公司电子显微镜等产品可应用于芯片检测

财闻 2026-09-15 15:42:05

有投资者向国仪公司-U(688828.SH)提问,12英寸晶圆扫描电镜广泛应用于半导体行业和科研领域。它配备大尺寸、大行程的样品台(超过300mm行程),具备高分辨率成像能力,可对微观结构进行详细观察和分析,其在半导体制造中用于检测晶圆缺陷,助力工艺优化,实现大尺寸全覆盖无损检测,标配高灵敏度镜筒内探测器,可选配EDS模块,实现形貌、成分等综合分析。请问上述产品是否已经覆盖了长鑫和长江存储产业链?

9月15日,公司回答表示,半导体领域是公司重点关注和持续拓展的高端应用方向之一。公司电子显微镜等产品可应用于芯片检测、半导体材料分析、先进制程芯片失效分析与结构表征、晶圆表面缺陷检测、透射电镜制样、微纳加工等环节,可为存储芯片等半导体产业链的研发检测提供配套支持。关于公司与具体厂商的合作情况,请以公司定期报告及相关公告为准。

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