国林科技:子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求

财闻 2026-09-18 16:37:34

有投资者在互动平台向国林科技(300786.SZ)提问,公司在半导体厂务端的产品设备有哪些?

9月18日,公司回答表示,臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。子公司国林半导体现有产品包括:半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、二氧化碳水发生器、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品;详细产品技术信息请查阅公司官方网站或公司定期报告进行了解。

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