公司是否在研发DUV或EUV产品?南大光电回应
财闻
2026-10-26 21:23:28
有投资者向南大光电(300346.SZ)提问,公司一项名为“光催化无氯合成四(二甲氨基)锡的方法”的专利,授权公告号CN122608655B,授权日为2026年9月22日。申请公布号为CN122608655A,申请号为CN202611116047.3;光催化无氯合成四(二甲氨基)锡的方法主要用到“紫外光协同烷基锂引发的无氯取代反应 + 后续纯化核心工艺”上,是不是可以理解公司已经在研发DUV或EUV产品?
10月26日,公司回答表示,公司现阶段主要专注于ArF和KrF光刻胶的研发和产业化,未开展EUV光刻胶的研发。

