半导体设备三季报业绩集中兑现，科创芯片ETF易方达涨3.45%

截至11月4日13点4分，上证指数涨0.23%，深证成指涨0.88%，创业板指涨1.14%。科创次新股、贵金属、半导体等板块涨幅居前。

ETF方面，科创芯片ETF易方达（589130）涨3.45%，成分股恒玄科技（688608.SH）涨超10%，乐鑫科技（688018.SH）、芯源微（688037.SH）、华峰测控（688200.SH）、安集科技（688019.SH）、屹唐股份（688729.SH）、翱捷科技-U（688220.SH）、思瑞浦（688536.SH）、盛美上海（688082.SH）、拓荆科技（688072.SH）涨超5%。

【消息面上：半导体设备三季报业绩集中兑现，在手订单大增且交付排期长】

据报道，半导体设备三季报业绩集中兑现，14家半导体设备公司前三季度营收合计759.38亿元、同比增长19.3%，归母净利润176.60亿元、同比增长59.5%，其中中微公司归母净利润同比增长241.31%，拓荆科技增长336.79%；盛美上海在手订单170.73亿元、同比增长88.2%，头部设备企业交付周期已排至2027年上半年。据证券时报网10月27日报道，富创精密第三季度净利润同比增长292.82%，前三季度净利润同比增长522.10%，业绩增长主要系半导体行业景气度回升、下游晶圆厂资本开支增加带动上游设备及零部件需求逐层落地。

【券商观点：华兴看好设备增长与国产替代；银河认为下行空间有限；东吴看好靶材空间；爱建看好检测设备】

华兴证券表示，我们看好2026-2030年全球半导体设备市场在AI算力、存储扩产和先进封装驱动下的增长趋势。根据SEMI预测，2026年全球半导体设备销售额将达1659亿美元（同比+23.2%），创历史新高。先进逻辑、DRAM/HBM和先进封装是WFE支出的核心驱动力。根据应用材料公司官网，中长期WFE结构中先进逻辑/代工、ICAPS、存储各占约1/3，2025年起AI推动先进逻辑WFE强劲增长，存储WFE向DRAM/HBM倾斜。同时，国产替代进程加速，国内晶圆厂国产设备占比升至约35%，射频电源等核心零部件国产化率仍不足12%，替代空间广阔。TCB市场有望从2025年6.79亿美元增至2030年9.36亿美元，CAGR11.6%。

中国银河表示，近期A股半导体板块行情表现主要受资金面恐慌踩踏影响。受部分权重公司业绩不及预期影响美股费城半导体指数下跌风险加大，预计将对A股半导体板块反弹行情有所压制；同时A股半导体板块已经先于费城半导体在9月下旬-整个10月进行了风险释放，我们认为继续下行空间有限。

东吴证券表示，相较CVD，磁控溅射材料与基板可选范围广、膜厚易控、附着力强，已成为工业化薄膜制备主流技术。据中商情报网，中国2025年溅射靶材市场规模33.65亿元，2026年有望达38亿元。逻辑芯片向7-3nm迭代、3D-NAND与HBM工艺升级及Chiplet、CoWoS先进封装，共同推升单片晶圆靶材用量与单位价值；SEMI预测2026-2027年中国300mm晶圆厂设备支出维持双位数增长，资本开支向靶材采购传导，根据我们的测算，全球半导体靶材远期市场规模有望超70亿美元，较当前有翻倍空间。

爱建证券表示，先进制程节点迭代推高单位产能检测需求，我们预计2028年全球检测与量测设备市场规模有望达330亿美元。SEMI预计，2028年全球晶圆制造设备（WFE）市场规模将达2,200亿美元。根据Yole，2025年全球半导体检测与量测设备市场规模为185.5亿美元，约占全球半导体制造设备销售额14%。考虑到先进制程对检测与量测设备需求强度提升，我们预计2028年全球检测与量测设备市场规模相当于同期WFE市场的15%，对应市场规模有望达到330亿美元，对应2025-2028CAGR为21%。先进制程提升单位产能的检测强度。据KLA2026年投资者日披露，在两次先进逻辑节点迭代中，每代所需检测步骤均较上代增加约30%，检测范围也从表面缺陷扩展至埋藏缺陷和EUV光刻中的重复性缺陷。我们认为，先进逻辑产线扩产带动检测与量测设备采购，节点升级则通过增加需要检测的工艺层数，进一步提升单位产能所需的设备配置量。

【个股拆解】

恒玄科技（688608.SH）：恒玄科技(上海)股份有限公司的主营业务是低功耗无线计算SoC芯片的研发、设计与销售。公司的主要产品是低功耗无线计算SoC芯片。

乐鑫科技（688018.SH）：乐鑫信息科技(上海)股份有限公司的主营业务是为全球企业与开发者提供一站式AIoT产品与服务。公司的主要产品是芯片、模组、开发套件。

芯源微（688037.SH）：沈阳芯源微电子设备股份有限公司的主营业务是半导体专用设备的研发、生产和销售。公司的主要产品是光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。

华峰测控（688200.SH）：北京华峰测控技术股份有限公司的主营业务是集成电路测试系统的研发、生产和销售。公司的主要产品是测试系统、测试系统配件。

安集科技（688019.SH）：安集微电子科技(上海)股份有限公司的主营业务是关键半导体材料的研发和产业化。公司的主要产品是化学机械抛光液、功能性湿电子化学品和电镀液及添加剂系列产品。

【关注思路】

科创芯片ETF易方达（589130.SH）跟踪上证科创板芯片指数，一键布局科创板芯片产业龙头，成长性优势凸显，前五大权重股包括中芯国际、海光信息、寒武纪、澜起科技、中微公司。