半导体设备前三季净利增近六成，头部企业交付排至2027年

截至11月4日14点31分，上证指数涨1.95%，深证成指涨4.08%，创业板指涨6.31%。科创次新股、国家大基金持股、半导体等板块涨幅居前。

ETF方面，芯片ETF易方达（516350）涨9.99%，成分股芯源微（688037.SH）、中科飞测（688361.SH）、雅克科技（002409.SZ）、通富微电（002156.SZ）、北方华创（002371.SZ）、瑞芯微（603893.SH）、长电科技（600584.SH）涨停，拓荆科技（688072.SH）、盛美上海（688082.SH）、翱捷科技-U（688220.SH）涨超10%。

【消息面上：ETF巨额净流入与半导体设备高增及长交付期共振】

11月3日股票型ETF单日净流入840.67亿元，位居史上第三，9月28日以来累计净流入超5500亿元；11月4日午后多只宽基ETF放量，科创半导体主题ETF涨幅超10%，中韩半导体ETF华泰柏瑞成交额超260亿元刷新历史纪录。据财闻11月4日报道，14家半导体设备公司前三季度营收合计759.38亿元、同比增长19.3%，归母净利润176.60亿元、同比增长59.5%，盛美上海在手订单170.73亿元、同比增长88.2%，头部设备企业交付周期已排至2027年上半年。

【券商观点：华龙看好前道设备景气；爱建看好检测量测扩容；国元关注云服务增长】

华龙证券表示，半导体设备：景气依旧，前道设备收入利润双增长。SEMI预测2026年全球半导体设备销售额2026年增长23.2%至1659亿美元、2028年达2295亿美元。中微公司前三季度营业收入103.26亿元、同比增长28.08%，归母净利润41.34亿元、同比增长241.31%，其中包含出售拓荆科技股票的投资收益约9.53亿元与对外股权投资公允价值变动及投资收益合计约19.40亿元，表观增速显著高于经营性增速；北方华创营业收入314.67亿元、同比增长15.26%，归母净利润53.92亿元、同比增长5.10%，毛利率39.44%、同比下降1.96个百分点，主要系新产品客户端验证的零部件迭代成本增加与批量客户商务折让，同期经营活动现金流净额55.91亿元、同比增长317.84%。

爱建证券表示，先进制程节点迭代推高单位产能检测需求，我们预计2028年全球检测与量测设备市场规模有望达330亿美元。SEMI预计，2028年全球晶圆制造设备（WFE）市场规模将达2,200亿美元。根据Yole，2025年全球半导体检测与量测设备市场规模为185.5亿美元，约占全球半导体制造设备销售额14%。考虑到先进制程对检测与量测设备需求强度提升，我们预计2028年全球检测与量测设备市场规模相当于同期WFE市场的15%，对应市场规模有望达到330亿美元，对应2025-2028CAGR为21%。先进制程提升单位产能的检测强度。据KLA2026年投资者日披露，在两次先进逻辑节点迭代中，每代所需检测步骤均较上代增加约30%，检测范围也从表面缺陷扩展至埋藏缺陷和EUV光刻中的重复性缺陷。我们认为，先进逻辑产线扩产带动检测与量测设备采购，节点升级则通过增加需要检测的工艺层数，进一步提升单位产能所需的设备配置量。

国元证券表示，2）SynergyResearchGroup数据显示，2026年第三季度全球云基础设施服务收入同比增长55%至1677亿美元，AI相关云服务占比约三分之一。

【个股拆解】

中科飞测（688361.SH）：深圳中科飞测科技股份有限公司的主营业务是为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。公司的主要产品是检测设备、量测设备、智能软件。

芯源微（688037.SH）：沈阳芯源微电子设备股份有限公司的主营业务是半导体专用设备的研发、生产和销售。公司的主要产品是光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。

拓荆科技（688072.SH）：拓荆科技股份有限公司的主营业务是高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司的主要产品是PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、FlowableCVD等薄膜沉积设备产品，晶圆对晶圆混合键合、晶圆对晶圆熔融键合、芯片对晶圆混合键合、芯片对晶圆熔融键合等三维集成设备产品。

盛美上海（688082.SH）：盛美半导体设备(上海)股份有限公司的主营业务是半导体专用设备的研发、生产和销售。公司的主要产品是清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、无应力抛光设备、后道晶圆级先进封装工艺设备、面板级先进封装设备、硅材料衬底制造工艺设备。

翱捷科技：翱捷科技股份有限公司的主营业务是各类集成电路及其应用系统和软件的开发、设计，委外生产和销售芯片产品，并提供相关技术服务和售后服务。公司的主要产品是蜂窝基带、智能SoC、定制类云/端侧计算芯片。

【关注思路】

芯片ETF易方达（516350.SH）跟踪芯片产业指数（h30007.CSI），被市场定位为“半导体全产业链、国产替代核心载体”的指数产品。该指数覆盖了芯片设计、制造、封测、设备和材料等半导体全产业链环节，成分股中包含了存储芯片、封测、CIS芯片和射频芯片等多个细分领域的龙头企业，前五大权重股包括海光信息、北方华创、中芯国际、寒武纪、兆易创新。投资者可关注该产品在国产芯片生态逐步完善和全产业链协同发展背景下的配置价值。