光刻胶用光引发剂走向市场 国内光刻胶相关现存企业超1000家
截至目前,国内光刻胶相关专利达1.73万项。
近日,湖北三峡实验室重大科技成果“光刻胶用光引发剂制备专有技术及实验设备所有权”,被湖北兴福电子以4626.78万元收购,即将投入生产。这一突破将有效缓解我国芯片制造领域又一“卡脖子”难题,推动光刻胶产业自主可控。
在芯片制造过程中,光刻胶如同相机的“底片”,而此次转让的成果G/I线光刻胶用光引发剂的关键技术,则能决定光刻胶的感光度和分辨率。
据湖北三峡实验室光刻胶用光引发剂项目负责人、博士周钢翔介绍,主要面向我们国内成熟制程、芯片制造以及面板制造行业,像国内目前的新能源汽车发展迅速,有大量的芯片都需要用到我们G/I线光刻胶,目前这款产品在国内的配方国产化率也是最高的。
近年来,由于进口光引发剂不时面临限购和断供,国内多家光刻胶生产企业生产受阻。在湖北,主攻芯片蚀刻电子级磷酸、电子级硫酸等产品的兴福电子公司,此前就想切入这一产业赛道,却苦于从零研发的高风险不敢贸然行动,于是向以微电子新材料为主要研究方向的三峡实验室提出研发需求。
企查查数据显示,截至1月12日,国内光刻胶相关现存企业达1040家,截至目前,国内光刻胶相关专利达1.73万项。


