高端光刻胶树脂实现稳定制备 A股光刻机概念股表现强势

5月14日，A股市场光刻机概念股表现强势，其中，中船特气（688146.SH）涨近20%，旭光电子（600353.SH）、肯特催化（603120.SH）10CM涨停，美迪凯（688079.SH）、英唐智控（300131.SZ）涨超8%，华特气体（688268.SH）、联泓新科（003022.SZ）涨超7%，中巨芯-U（688549.SH）涨超5%，怡达股份（300721.SZ）、中润光学（688307.SH）、常青科技（603125.SH）、国林科技（300786.SZ）、雅克科技（002409.SZ）、高盟新材（300200.SZ）涨超4%。

消息面上，据上海人工智能实验室官微消息，近日，依托2030新一代人工智能国家科技重大专项总体部署，上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位基于“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台，构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系，实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。

据介绍，这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数供应商的“黑箱能力”，为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。

目前，上述平台已支撑多批次自动化合成与性能验证，批次间一致性得到显著提升。其中，恒坤新材（688727.SH）基于光刻胶配方开发经验，完成了树脂适配，产业关键指标均达预期后续将进入客户端验证阶段。