英诺激光：为国内半导体厂商定制的晶圆缺陷检测的专用激光器已通过客户验证

5月15日，英诺激光（301021.SZ）发布投资者关系活动记录表。

在半导体设备国产化方面，公司持续关注半导体行业的国产化进程，海外市场方面持续深化与SHI公司的合作，稳定为其供应碳化硅退火制程的深紫外激光器。国内市场方面，加强与国内半导体厂商的合作，为其定制的晶圆缺陷检测的专用激光器已通过客户验证。