国产光刻机交付+需求旺盛，半导体设备ETF易方达涨1.85%

截至5月20日10点6分，上证指数跌0.33%，深证成指跌0.26%，创业板指涨0.41%。

ETF方面，半导体设备ETF易方达（159558）涨1.85%，成分股上海合晶（688584.SH）、中科飞测（688361.SH）涨超10%，艾森股份（688720.SH）、华峰测控（688200.SH）、神工股份（688233.SH）、金海通（603061.SH）、雅克科技（002409.SZ）涨超5%，长川科技（300604.SZ）、晶瑞电材（300655.SZ）、华海清科（688120.SH）等上涨。

消息方面，上海微电子28nm浸没式DUV光刻机完成首批交付，交付对象为国内晶圆厂，并且良率达到90%～95%。同时，中微公司上调2026年订单增速指引至50%，理由为存储芯片、国产先进制程领域的旺盛需求，以及国内晶圆厂扩产带来的增量需求。国际半导体产业协会数据显示，2026年一季度中国内地半导体设备采购额约98亿美元，同比增长25%，创历史新高。

中信证券表示，MLCC在服务器、光模块有广泛应用，受益服务器功率提升、垂直供电、800V等升级有望迎量价齐升机遇。当前受益AI需求景气，MLCC行业正进入新一轮涨价、景气上行周期，我们看好本土厂商乘风发展并顺势加速服务器、车规等高规格产品突破。

国盛证券表示，建议围绕国产替代深水区+细分赛道高景气”双主线布局，关注具备核心技术自主可控能力、细分赛道市占率领先且深度绑定下游优质客户资源的标的。

半导体设备ETF易方达（159558）根据申万三级行业分类，该ETF跟踪的中证半导体材料设备主题指数中半导体设备占比为63%，且在跟踪同指数产品中具备明显超额收益优势。