聚光科技：7350系列质谱仪提升灵敏度和抗干扰能力

有投资者向聚光科技（300203.SZ）提问，谱育科技7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）已经开始批量交付了吗？产品和国外比有没有差距？还是比国外更先进

7月13日，公司回答表示，谱育科技于今年3月发布的新产品7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等方面实现大幅提升，针对典型半导体领域样品（湿化学品，晶圆杂质金属，硅烷，电子特气等）的检出能力稳定在sub -ppt水平，在覆盖半导体全场景超痕量检测需求的同时，显著提升的灵敏度水平将有力支持半导体量测端的数据质量管理，为主流&先进制程提供更严格的工艺规格与材料认证。