阿斯麦加码低数值孔径EUV产能扩产三成
财闻
2026-07-15 13:16:47
阿斯麦计划2027年将低数值孔径EUV光刻机产能增加30%。
7月15日,阿斯麦(ASML.US)计划在2026年约65台低数值孔径(Low-NA)EUV光刻机产能基础上,2027年增加30%产能;公司正在研究2028年再增加30%产能的可行性。
7月15日,阿斯麦(ASML.US)计划在2026年约65台低数值孔径(Low-NA)EUV光刻机产能基础上,2027年增加30%产能;公司正在研究2028年再增加30%产能的可行性。