目前有无和晶圆厂送样合作？理工光科回应

财闻 2026-07-15 16:07:11

7月15日，公司回答表示，光纤光栅位“微米级位移监测”与EUV光刻设备核心部件的测量要求并非同一技术指标，公司未与晶圆厂开展送样合作。

有投资者向理工光科（300557.SZ）提问，公司高精度光纤光栅专利可实现微米级监测，此前中标核聚变HL3项目，相关传感技术是否可延伸至半导体EUV光刻设备的温度、应力在线监测？目前有无和晶圆厂送样合作？

7月15日，公司回答表示，光纤光栅位“微米级位移监测”与EUV光刻设备核心部件的测量要求并非同一技术指标，公司未与晶圆厂开展送样合作。

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