佳能将发售扫描式半导体光刻机，波长光电涨超13%

财闻 2026-11-13 10:06:59

11月13日，光刻机概念表现活跃，波长光电（301421.SZ）涨超13%，张江高科（600895.SH）、新莱应材（300260.SZ）、海立股份（600619.SH）、茂莱光学（688502.SH）、富创精密（688409.SH）跟涨。

消息面上，佳能宣布，将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF（氟化氪）扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间，这款KrF扫描式半导体光刻机新产品具备每小时400片晶圆的高产能。

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