SK海力士年底量产375层NAND全面推进以钼代钨
SK海力士拟年底量产375层NAND闪存,完成清州产线改造,首次用钼替代钨,提升性能与密度。
据财闻海外资讯6月11日报道,SK海力士计划于2026年底实现375层3D NAND闪存量产,目前已完成生产验证,并正推进清州M15工厂原有产线改造升级,由原176层、238层、321层产品全面切换至375层产线。
该产品原规划为400层,因超高堆叠工艺难度大而调整为375层,企业已规划后续480层、604层技术路线。本次核心突破为首次在字线金属栅极中引入钼(Mo)材料替代传统钨(W),可降低微缩线路电阻、提升信号传输与读写速率,并省去辅助膜铺设,增强存储密度。
尽管钼工艺需精准控制高温供给,但其优势显著。SK海力士选定东京电子(TEL)炉管模式设备,相较应用材料方案更具成本与效率优势。钼供应方包括空气产品、英特格、默克及SK特种气体(后者正协同空气产品完善交付)。
行业预测,NAND钼用量将快速增长:三星电子去年采购约4吨,今年将达10吨,2027–2030年将依次升至25、40、60、80吨;SK海力士自2027年起大规模导入,初期年用量约4吨。公司聚焦高端扩产以提升单位比特盈利,而非盲目扩张产能。

