恒运昌：第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，可实现快速大数据采集等

6月4日，恒运昌（688785.SH）发布投资者关系活动记录表。

关于公司等离子体射频电源系统的应用领域及特点，公司表示该产品被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。公司等离子体射频电源系统定制化程度较高，在与下游设备厂商合作过程中，一般由下游客户向公司提供产品技术指标要求和功能要求，公司根据客户需求自主研发新产品并制作样机供下游客户验证。

针对新产品Cedar，公司介绍截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。

关于公司产品上游元器件的情况，公司表示已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道。为保证生产的连续性和稳定性，公司综合考虑原材料的采购周期、供应商的供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。

公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等电气件以及钣金件等结构件。自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiC MOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用。公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持续推进元器件的全面国产化验证工作。

在产能方面，公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司的产能利用率达到98.51%。公司将通过扩产和生产流程优化等方式提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产；推进深圳产能建设，这都将有助于后续产能的释放。此外，公司也将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，持续推进产能的提升。

“营销及技术支持中心项目”拟通过在长三角地区、京津冀地区、中西部地区等晶圆制造集群区域设立营销及技术支持中心，提升与晶圆厂的协同效率，保障产能快速扩张下的芯片良率与生产连续性。公司已新增全资子公司恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司（简称北京恒运昌）、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为该募投项目的实施主体。北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌处于前期准备阶段。