华特气体：公司深度布局HBM产业链，为其关键的TSV（硅通孔）工艺提供先进刻蚀气体

财闻 2026-06-02 15:58:12

6月2日，公司回答表示，公司深度布局HBM产业链，为其关键的TSV（硅通孔）工艺提供先进刻蚀气体。

有投资者向华特气体（688268.SH）提问，请问公司有什么产品直接或间接用于HBM存储芯片吗？公司有什么产品直接或间接供应海力士、三星、镁光吗？

6月2日，公司回答表示，公司深度布局HBM产业链，为其关键的TSV（硅通孔）工艺提供先进刻蚀气体。

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